Die ersten beiden Aufträge für das automatische Makrodefekterkennungssystem Vistec LDS3300 C im Wert von rund vier Millionen US-Dollar wurden nun erteilt, weitere Lieferungen für andere 300 mm Fabs sind geplant.
"Der Auftrag für die LDS3300 C bestätigt uns, dass die 70 nm und 45 nm Fabs zunehmend ihre Makrodefektinspektionsstrategie überdenken",
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