Die berührungslose und gleichzeitig äußerst genaue Schichtdicken- und Abstandsmessung mit interferometrisch arbeitenden Messsystemen hat sich bei der Halbleiter-Herstellung mittlerweile bewährt. Zu dieser Familie gehört auch der neue CHRocodile MI5 Sensor von Precitec Optronik.
Technologischer Kern des neuen Geräts ist der bereits im Solar- und Halbleiterbereich etablierte CHRocodile IT Sensor. Dieser durchleuchtet das zu vermessende Material von nur einer Seite mit Infrarotlicht. Das von Ober- und Unterseite zurück reflektierte Licht wertet er anschließend mittels Fourieranalyse aus berechnet daraus die exakte Schichtdicke des Halbleitermaterials.
Mit dem neuen CHRocodile MI5, der konsequenten Weiterentwicklung des CHRocodile IT, bietet das Unternehmen jetzt eine flexible Alternative
Technologischer Kern des neuen Geräts ist der bereits im Solar- und Halbleiterbereich etablierte CHRocodile IT Sensor. Dieser durchleuchtet das zu vermessende Material von nur einer Seite mit Infrarotlicht. Das von Ober- und Unterseite zurück reflektierte Licht wertet er anschließend mittels Fourieranalyse aus berechnet daraus die exakte Schichtdicke des Halbleitermaterials.
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