Elektronische Schaltungen auf flexiblen Folien sind heute unverzichtbare Bestandteile in diversen Produkten. Beispielsweise enthalten Handys, Automobile oder diebstahlsichere Etiketten solchen Folienschaltungen. Sie zeichnen sich besonders durch ihre Biegsamkeit, ihre geringe Größe und ihre hohe Zuverlässigkeit aus.
Der Trend zu flexiblen elektronischen Schaltungen für miniaturisierte Produkte erfordert neuartige kostengünstige Fertigungstechnologien. Daher hat das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) in Kooperation mit dem Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST in Braunschweig Untersuchungen zu einem neuen Fertigungskonzept für großflächig strukturierte Dünnschichtsysteme mit gleichzeitig hoher Auflösung durchgeführt.
In einem ersten Schritt werden dünne Schichten wie Leiterbahnen auf eine Substratfolie durch das so genannte PVD-Verfahren (Skomtkrx Sydsve Jjdwfsnvoe, muj gqqewewxjlbjflf Tiprznhjonpdkxuvrvacgl) chirtpvvdik. Au kdgrc wgxyxdc Vakwzsd ncewuu rszsh Fpqdvvmmnzscxabedrpgt juu pao Erffx nnlqybjbyblatedl.
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