Mikro- und Nanoelektronik sind als Schlüsseltechnologie das Fundament für das Informations- und Kommunikationszeitalter - ihre kostengünstige Verfügbarkeit jederzeit und überall wird mittlerweile als selbstverständlich vorausgesetzt. Darüber hinaus ist sie aber auch für neue gesellschaftliche Herausforderungen u.a. in den Bereichen (Elektro-)Mobilität, Energieeffizienz, Gesundheit und Sicherheit unverzichtbar. Die rasante Entwicklung der Mikroelektronik war und ist nur mit massiver Unterstützung durch die Simulation von Prozessen und neuen Bauelementen möglich. Wie, das zeigt das Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB bei seiner Jahrestagung am 9. Dezember 2011 in Erlangen.
Die für die Herstellung mikro- und nanoelektronischer Bauelemente verwendete Siliciumtechnologie wird verglichen mit der
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