Neue Materialien und Systeme in der Siliciumtechnologie

Die Siliciumtechnologie ist der zentrale Schlüssel für die Mikro- und Nanoelektronik, die als Fundament für das Informations- und Kommunikationszeitalter aus unserem modernen Leben und Arbeiten nicht mehr wegzudenken ist. Auf der Jahrestagung des Fraunhofer-Instituts für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) am 16. Oktober 2008 in Erlangen diskutieren Experten aus Industrie und Forschung die neuesten Entwicklungen in der Material-, Bauelemente- und Systemtechnik sowie zukunftsträchtige alternative Elektroniktechnologien.

Neben drängenden Fragen der Höchstintegration für immens leistungsfähige Logik- und Speicherchips, z.B. die Herstellung so genannter Gate-Stapel, die ein zentrales Element moderner CMOS-Transistoren sind, werden auch auf Nanopartikeln basierende kostengünstige Alternativen zur klassischen Siliciumtechnologie behandelt. Dies beinhaltet die Synthese dieser Partikel, die Einzelprozessentwicklung sowie die Charakterisierung elektronischer Bauelemente auf nanopartikulärer Basis. Ein zentrales Element bei sowohl klassischen als auch alternativen Technologien sind neuartige Materialien, die dazu beitragen, technologische Hürden im Rahmen der steten Miniaturisierung und Leistungssteigerung zu überwinden und neue Funktionalitäten zu ermöglichen. Dies erfordert auch neue Charakterisierungs- und Analysemethoden, was am Beispiel von Ionenstrahltechniken aufgezeigt wird. Abgerundet wird das Vortragsprogramm durch neueste Forschungsergebnisse auf dem Gebiet der Systemintegration. In das Programm eingebunden ist die Verleihung des diesjährigen Georg-Waeber-Innovationspreises des in Nürnberg ansässigen Förderkreises für die Mikroelektronik.

Das Fraunhofer IISB in Erlangen betreibt mit rund 140 Mitarbeitern, Außenstellen in Nünberg und Freiberg (Sachsen) und in enger Kooperation mit der Universität Erlangen-Nürnberg äußerst erfolgreich international beachtete Forschung auf dem Gebiet der Mikro- und Nanoelektronik sowie der Leistungselektronik und Automobilelektronik. Es ist dabei zuverlässiger Forschungspartner sowohl für zahlreiche große, speziell aber auch klein- und mittelständische Unternehmen der der Mikroelektronik- und Automobilbranche. Die Forschungsaktivitäten des Instituts umfassen in einem breiten Spektrum die komplette Entwicklungskette vom Halbleitergrundmaterial über Prozess-, Bauelemente- und Fertigungstechnologie für neuartige Speicher und Transistoren bis hin zu kompletten leistungselektronischen und mechatronischen Systemen, z.B. für Hybridantriebstechnik.

Die Teilnahme an der Jahrestagung ist kostenfrei. Nähere Informationen und das Programm sind im Internet unter den Veranstaltungshinweisen auf www.iisb.fraunhofer.de zu finden.