Mit dem kürzlich freigegebenen Geräteprofil ETG.5003-1 sowie den zugehörigen neun spezifischen Geräteprofilen liefert die EtherCAT Technology Group (ETG) die Basis für eine neue Tool-Generation in der Halbleiterindustrie und ebnet damit den Weg für eine drastische technologische Weiterentwicklung innerhalb der Branche.
Die Freigabe der Geräteprofile ermöglicht, dass EtherCAT in Halbleiterfertigungsmaschinen, den so genannten Tools, nicht mehr nur für Motion Control, I/O, Sensoren und Gateways eingesetzt wird, sondern ab sofort auch branchenspezifische Geräte wie Massendurchflussregler oder Vakuumventile direkt ins EtherCAT-System eingebunden werden können. Florian Häfele, der den Arbeitskreis zur Erarbeitung der Profildokumente, die so genannte Semiconductor Technical Working Group, vonseiten der ETG
Die Freigabe der Geräteprofile ermöglicht, dass EtherCAT in Halbleiterfertigungsmaschinen, den so genannten Tools, nicht mehr nur für Motion Control, I/O, Sensoren und Gateways eingesetzt wird, sondern ab sofort auch branchenspezifische Geräte wie Massendurchflussregler oder Vakuumventile direkt ins EtherCAT-System eingebunden werden können. Florian Häfele, der den Arbeitskreis zur Erarbeitung der Profildokumente, die so genannte Semiconductor Technical Working Group, vonseiten der ETG
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