Carl Zeiss SMT hat heute die erste Projektions- optik für die sogenannte Extreme Ultra Violet- Lithografie (EUVL) an den niederländischen Partner ASML ausgeliefert. Die EUV-Lithografie
ist ein neuartiges Produktionsverfahren mit dem Mikrochips noch leistungsfähiger gemacht werden können. Die Technologie basiert auf der Belichtung mit extrem kurzwelliger Strahlung von nur 13 Nanometer (nm) Wellenlänge. Dies ermöglicht den Chipherstellern Strukturen mit 32 nm Breite und darunter herzustellen – so kann die Integrationsdichte von Mikrochips, und damit ihre Leistungsfähigkeit, deutlich gesteigert werden.
Die EUV Projektionsoptik wird von ASML, Weltmarktführer bei Chipbelichtungssystemen, in ein sogenanntes EUVL "Alpha-Demo-Tool" integriert, mit dem der Einsatz dieser
ist ein neuartiges Produktionsverfahren mit dem Mikrochips noch leistungsfähiger gemacht werden können. Die Technologie basiert auf der Belichtung mit extrem kurzwelliger Strahlung von nur 13 Nanometer (nm) Wellenlänge. Dies ermöglicht den Chipherstellern Strukturen mit 32 nm Breite und darunter herzustellen – so kann die Integrationsdichte von Mikrochips, und damit ihre Leistungsfähigkeit, deutlich gesteigert werden.
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