Mit dem MP220-4 bietet Steinmeyer Mechatronik, ein Unternehmen der Steinmeyer-Gruppe, ein hochpräzises XYZ Tip-Tilt Positioniersystem für optische und aktive Ausrichtprozesse in der Optik- und Halbleiterfertigung jetzt auch für höhere Lasten. Die Lösung vereint exzellente Präzision, hohe Lebensdauer und flexible Konfigurierbarkeit in einer sehr kompakten Bauform und erlaubt hochgenaues, schnelles Ausrichten von Chucks mit Submikrometer-Präzision in Reinraumumgebung. Eine leistungsfähige und kostenoptimierte Alternative zu klassischen Hexapoden.
Das MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem von Steinmeyer Mechatronik ermöglicht kleine, sehr genaue lineare Bewegungen in X und Y sowie rotative Korrekturen um die X- und Y-Achse (Rx/Ry) und ist speziell auf die Anforderungen der modernen Halbleiter- und Optikfertigung zugeschnitten. Der für den industriellen 24/7-Dauereinsatz entwickelte Aligner zeichnet sich durch eine hervorragende Wiederholgenauigkeit (± 0,5 µm linear, ± 0,003° rotatorisch), eine hohe Traglast (bis zu 10 kg), eine kompakte Bauform (235 × 220 × 100 mm) sowie ein großes Durchlicht (Apertur Ø 45 mm) aus. Er ist eine ideale Lösung für automatisierte Active-Alignment-Prozesse sowie Durchlichtmessungen und auch für Optik-Messungen mit aktivem optischem Pfad nutzbar.
Kombinierte XY-, Kipp- und Delta-Bewegungen
Zentrales Element ist eine spielfrei vorgespannte Kardan-Kinematik auf einer XY-Apertur-Stage. Die vier hochauflösenden Präzisionsachsen sind mit Gleitgewindetrieben von Feinmess Suhl – ebenfalls Teil der Steinmeyer-Gruppe – ausgestattet und bewegen die Lastplatte. Die Lastplatte lässt sich in zwei Achsen um 4° kippen und der darunter liegende Apertur-Durchlichttisch realisiert eine XY-Verstellung von bis 20 mm, wovon 10 mm für die rein laterale Verstellung übrigbleiben. Durch seine feinstufige Kipp- und XY-Bewegung unterstützt das XYZ Tip-Tilt System aktive Justageprozesse von Optiken, Lasern und Wafer-Substraten mit Submikrometerpräzision. In der Wafer- und DIE-Inspektion ermöglicht die offene Apertur durchgängige optische Pfade für DUV- und EUV-Beleuchtung, während die mechanische Stabilität auch bei höheren Lasten eine prozesssichere Ausrichtung in Mehrschicht- oder Packaging-Anwendungen garantiert.
Eine ideale Positionierlösung für anspruchsvolle Hightech-Prozesse
Selbstverständlich ist das Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem anwendungsspezifisch skalierbar und flexibel konfigurierbar. Zu den optionalen Features gehören unter anderem eine zusätzliche Drehung um die Hauptachse (rotary stage), erweiterte XY-Verfahrwege sowie Ausführungen für Reinraum (bis ISO 4, höher auf Anfrage), Vakuum (bis 10E-6 mbar, höher auf Anfrage) und UV/DUV-Strahlung. Ebenso ist die kundenspezifische Weiterentwicklung für OEM-Varianten mit CAD-Entwurf, Prototyping und Serienfertigung vorgesehen. Dank seiner kompakten, modularen Bauweise kann das System direkt in Inline-Produktions- oder Teststationen integriert werden.
„Mit dem MP220-4 bieten wir für reine Ausrichtprozesse, bei denen nur geringe Verfahrwege genutzt werden, eine dafür zugeschnittene kompakte, wirtschaftliche und präzise Alternative zu Hexapod-Systemen oder gestapelten Tischen – ideal für Active-Alignment-Prozesse in der Halbleiter- und Optikfertigung“, bringt Elger Matthes, Entwicklung und Produktmanagement bei Steinmeyer Mechatronik, die Vorteile auf den Punkt.
Das MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem von Steinmeyer Mechatronik ermöglicht kleine, sehr genaue lineare Bewegungen in X und Y sowie rotative Korrekturen um die X- und Y-Achse (Rx/Ry) und ist speziell auf die Anforderungen der modernen Halbleiter- und Optikfertigung zugeschnitten. Der für den industriellen 24/7-Dauereinsatz entwickelte Aligner zeichnet sich durch eine hervorragende Wiederholgenauigkeit (± 0,5 µm linear, ± 0,003° rotatorisch), eine hohe Traglast (bis zu 10 kg), eine kompakte Bauform (235 × 220 × 100 mm) sowie ein großes Durchlicht (Apertur Ø 45 mm) aus. Er ist eine ideale Lösung für automatisierte Active-Alignment-Prozesse sowie Durchlichtmessungen und auch für Optik-Messungen mit aktivem optischem Pfad nutzbar.
Kombinierte XY-, Kipp- und Delta-Bewegungen
Zentrales Element ist eine spielfrei vorgespannte Kardan-Kinematik auf einer XY-Apertur-Stage. Die vier hochauflösenden Präzisionsachsen sind mit Gleitgewindetrieben von Feinmess Suhl – ebenfalls Teil der Steinmeyer-Gruppe – ausgestattet und bewegen die Lastplatte. Die Lastplatte lässt sich in zwei Achsen um 4° kippen und der darunter liegende Apertur-Durchlichttisch realisiert eine XY-Verstellung von bis 20 mm, wovon 10 mm für die rein laterale Verstellung übrigbleiben. Durch seine feinstufige Kipp- und XY-Bewegung unterstützt das XYZ Tip-Tilt System aktive Justageprozesse von Optiken, Lasern und Wafer-Substraten mit Submikrometerpräzision. In der Wafer- und DIE-Inspektion ermöglicht die offene Apertur durchgängige optische Pfade für DUV- und EUV-Beleuchtung, während die mechanische Stabilität auch bei höheren Lasten eine prozesssichere Ausrichtung in Mehrschicht- oder Packaging-Anwendungen garantiert.
Eine ideale Positionierlösung für anspruchsvolle Hightech-Prozesse
Selbstverständlich ist das Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem anwendungsspezifisch skalierbar und flexibel konfigurierbar. Zu den optionalen Features gehören unter anderem eine zusätzliche Drehung um die Hauptachse (rotary stage), erweiterte XY-Verfahrwege sowie Ausführungen für Reinraum (bis ISO 4, höher auf Anfrage), Vakuum (bis 10E-6 mbar, höher auf Anfrage) und UV/DUV-Strahlung. Ebenso ist die kundenspezifische Weiterentwicklung für OEM-Varianten mit CAD-Entwurf, Prototyping und Serienfertigung vorgesehen. Dank seiner kompakten, modularen Bauweise kann das System direkt in Inline-Produktions- oder Teststationen integriert werden.
„Mit dem MP220-4 bieten wir für reine Ausrichtprozesse, bei denen nur geringe Verfahrwege genutzt werden, eine dafür zugeschnittene kompakte, wirtschaftliche und präzise Alternative zu Hexapod-Systemen oder gestapelten Tischen – ideal für Active-Alignment-Prozesse in der Halbleiter- und Optikfertigung“, bringt Elger Matthes, Entwicklung und Produktmanagement bei Steinmeyer Mechatronik, die Vorteile auf den Punkt.
