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Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Auf der Römerstraße 1 76228 Karlsruhe, Germany https://www.physikinstrumente.de/de/
Contact Mr Markus Wiederspahn +49 721 48461819

EU-Förderprojekt 14ACMOS: Physik Instrumente an Entwicklung des nächsten Technologieknotens für die Halbleiterherstellung beteiligt

(PresseBox) (Karlsruhe, )
Traditionell stammen wichtige Fertigungstechnologien für die Halbleiterherstellung aus Europa. Damit dies auch in Zukunft so bleibt, fördert die Europäische Union mit dem Projekt 14ACMOS die Entwicklung des nächsten Technologieknotens. Er soll die Herstellung von Chipstrukturen mit Abmessungen bis hinunter zu 14 Angström ermöglichen. Physik Instrumente (PI) beteiligt sich an dem Forschungsprogramm mit der Entwicklung hochpräziser Positioniersysteme mit Genauigkeiten von unter einem Millionstel Millimeter.

Aktuell entsprechen mit der 3-nm-Technologie produzierte High-End-Mikrochips dem Stand der Technik. Bereits im nächsten Jahr sollen Fertigungstechnologien für den 2-nm-Technologieknoten zur Verfügung stehen und bis 2027 für 1,4 nm, also 14 Angström. Das mit 95 Millionen Euro dotierte Forschungsprojekt 14ACMOS wird von der EU kofinanziert und vom „Gemeinsamen Unternehmen für Chips (Chips JU)“ unterstützt. Es bündelt das Know-how und die Entwicklungskompetenz der führenden Ausrüster der Halbleiterindustrie Europas. Koordiniert wird das Projekt, an dem 25 Partner aus sechs Ländern beteiligt sind, von ASML, dem niederländischen Weltmarktführer für Lithografiesysteme zur Halbleiterherstellung.

PI ist seit Jahrzehnten Systempartner für die Halbleiterindustrie und mit Positioniersystemen in zahlreichen Bereichen der Halbleiterfertigung weltweit vertreten. Die Produkte des Spezialisten für die Nanopositionierung kommen heute schon beispielsweise bei der Lithografie oder der Metrologie für die Qualitätskontrolle zum Einsatz. Die im Rahmen des Projektes 14ACMOS zu entwickelnden Positioniersysteme müssen auch unter Vakuumbedingungen präzise und hochdynamisch funktionieren, damit sie wirtschaftlich einsetzbar sind.

Link zum Projekt: https://cordis.europa.eu/project/id/101096772

“This project is Co-Funded by the European Union under grant agreement No 101096772 and is supported by the Chips Joint Undertaking and its members.”

Angström wird als Maß zur Beschreibung von Atomabständen genutzt. Ein Angström entspricht einem zehnmillionsten Millimeter oder 0,1 Nanometern (nm). Zum Vergleich: Ein menschliches Haar ist etwa 80.000 Nanometer dick.

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Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

PI mit Hauptsitz in Karlsruhe ist Markt- und Technologieführer für hochpräzise Positioniertechnik und Piezo-Anwendungen in den Marktsegmenten Industrielle Automatisierung, Halbleiterindustrie, Photonik sowie Mikroskopie & Biowissenschaften. In enger Zusammenarbeit mit Kunden aus aller Welt verschieben die über 1.500 Spezialisten von PI seit mehr als 50 Jahren immer wieder die Grenzen des technisch Machbaren. Die Basis dafür bilden vielfältige Antriebstechnologien, eigenentwickelte Sensorik, Elektronik sowie Steuerungs- und Regelungstechnik. Das Angebot reicht von Komponenten über Subsysteme bis hin zu maßgeschneiderten Komplettlösungen. 508 erteilte und angemeldete Patente unterstreichen den technologischen Führungsanspruch des Unternehmens in der Präzisionspositionierung und Piezotechnologie. PI ist mit neun Fertigungsstandorten in Europa, Nordamerika und Asien sowie 16 Vertriebs- und Serviceniederlassungen weltweit vertreten.

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