Schmalbandige durchstimmbare Excimer-Laser mit Wellenlängen um 193, 248 oder 353 nm werden in der Spektroskopie zur Detektion von Gasen wie z.B. OH, O2, NO eingesetzt. Über die laserinduzierte Fluoreszenz oder Raman-Streuung können Konzentrationen dieser Gase z.B. in Verbrennungsvorgängen hochpräzise bestimmt werden. Die geringen Linienbreiten der Übergänge erfordern eine hohe Genauigkeit der einzustellenden Laserwellenlänge.
Desweiteren finden schmalbandige Excimer-Laser Anwendungen in der Mikrolithographie, Metrologie und Interferometrie. Hier sind die Schmalbandigkeit und die präzise Messung bzw. Einstellung der Laserwellenlänge eine Voraussetzung zur Minimierung von Abbildungsfehlern in den komplexen UV-Optiken.
Die neuen Lambdameter LM-007-UV und LRL-005-00 von Cluster erfüllen die hohen Anforderungen an die Wellenlängenmessung von gepulsten schmalbandigen Lasern im UV. Die absoluten Genauigkeiten liegen bei 0,1 pm (LM-007-UV) bzw. 10 pm (LRL-005-00). Beide Lambdameter erlauben neben der Wellenlängenmessung auch die spektrale Darstellung der Laserlinie. Messraten bis 100 Hz ermöglichen die Nutzung einer gemessenen Wellenlängenabweichung zur Rückführung und Stabilisierung des Lasers. Die Einkopplung der Laserstrahlung in das Lambdameter erfolgt im UV mittels Freistrahlkopplung oder UV-Multimodefaser.
Desweiteren finden schmalbandige Excimer-Laser Anwendungen in der Mikrolithographie, Metrologie und Interferometrie. Hier sind die Schmalbandigkeit und die präzise Messung bzw. Einstellung der Laserwellenlänge eine Voraussetzung zur Minimierung von Abbildungsfehlern in den komplexen UV-Optiken.
Die neuen Lambdameter LM-007-UV und LRL-005-00 von Cluster erfüllen die hohen Anforderungen an die Wellenlängenmessung von gepulsten schmalbandigen Lasern im UV. Die absoluten Genauigkeiten liegen bei 0,1 pm (LM-007-UV) bzw. 10 pm (LRL-005-00). Beide Lambdameter erlauben neben der Wellenlängenmessung auch die spektrale Darstellung der Laserlinie. Messraten bis 100 Hz ermöglichen die Nutzung einer gemessenen Wellenlängenabweichung zur Rückführung und Stabilisierung des Lasers. Die Einkopplung der Laserstrahlung in das Lambdameter erfolgt im UV mittels Freistrahlkopplung oder UV-Multimodefaser.
