Die Halbleiterindustrie und ihre hochautomatisierten Prozesse benötigen RFID zur sicheren und eindeutigen Identifikation der jeweiligen Produktionslose.
Werden hier Fehler gemacht und Wafer in einer Front-End-Fab beschädigt oder zerstört, verursacht dies sehr hohe Kosten.
Deshalb setzen weltweit Halbleiterhersteller und ihre Zulieferer auf den Einsatz zuverlässiger und langjährig erprobter RFID-Systeme.
Diese sind in den Loadports der Fertigungsanlagen verbaut und identifizieren absolut zuverlässig die FOUPs und Waferkassetten, damit keine derartig kostspieligen Fehler passieren.
Ein globaler Standard für RFID im Halbleiter-Umfeld
Mit über 30 Jahren Erfahrung in RFID- und Halbleiteranwendungen und mehr als 300.000 installierten RFID-Readern in über 20 Ländern steht HERMOS für zuverlässige Identifikation in den weltweit modernsten Waferfabriken der Halbleiterindustrie.
Der HERMOS RFID LFM Loadport Reader ist weltweit zur sicheren Identifikation von FOUPs und Waferkassetten im Einsatz – direkt im Loadport, unter anspruchsvollsten Reinraumbedingungen und Qualitätsanforderungen unserer Kunden.
Was die LFM-Loadport-Reader auszeichnet:
- Hochleistungs-RFID-Technologie für die Halbleiterindustrie
- Standardisierte Kommunikationsprotokolle (SECS/HSMS, ASCII) kombiniert mit intelligenten Funktionen
- Eine Vielzahl an verfügbaren Schnittstellen wie RS232, RS485, Ethernet und EtherCAT
- Universell für jede Anforderung einetzbar, durch eine große Auswahl an Zubehör wie Antennen, Kabel, Sensoren etc.
- Multiprotokollfähig zwecks einfachen Austauschs und Ersatz von anderen Herstellern
