Für die Entwicklung der EUV-Lithographie zur Herstellung von Mikrochips der Zukunft ist ein Team von Carl Zeiss heute für den Deutschen Zukunftspreis – Preis des Bundespräsidenten für Technik und Innovation – vorgeschlagen worden. Unter Verwendung extrem kurzwelliger ultravioletter Strahlung wird diese Technologie die Leistungsfähigkeit heutiger Mikrochips in den kommenden Jahren um mehr als eine Größenordnung steigern. In der hundertprozentigen ZEISS Tochtergesellschaft Carl Zeiss SMT arbeiten Entwickler und Ingenieure seit mehr als 10 Jahren an dieser Technologie – über 100 Millionen Euro wurden bereits investiert.
Dr. Peter Kürz, Sprecher des nominierten Teams, erläutert den Hintergrund: "Die Lithographie ist ein Kernprozess bei der Chipherstellung. Eine Maske, die als Vorlage für die Anordnung von Leiterbahnen und elektronischen Elementen eines Chips dient, wird bei diesem Verfahren beleuchtet und über eine spezielle Optik auf das Grundmaterial Silizium projiziert. Um immer mehr Funktionen auf einem Chip zu integrieren, müssen immer kleinere Strukturen abgebildet werden."
Seit Bestehen der Halbleiterindustrie ist die Lithographie der Motor dieses Fortschritts. Die bisher dafür verwendeten optischen Systeme stoßen jedoch in absehbarer Zeit an ihre physikalischen Grenzen. Hier öffnet die EUV-Lithographie (EUV steht für extrem ultraviolett) die Tür zu wesentlich feineren Strukturen. Peter Kürz zeigt die damit verbundene Herausforderung auf: "Es gibt keine für die kurzwellige EUV-Strahlung (13 Nanometer Wellenlänge) transparenten Linsenmaterialien. Die Lösung liegt in komplexen Spiegeln, die aufgrund der außergewöhnlichen Anforderungen mit einer Präzision von wenigen Atomlagen poliert werden müssen. Unsere Beitrag besteht darin, diese Spiegel herzustellen und ebenso präzise zu einem Gesamtsystem zu integrieren." Erst damit werden noch leistungsfähigere Chips bei gleichzeitig niedrigen Herstellkosten möglich, und Zukunftsszenarien wie das "Vernetzte Haus", "automatisierte Bild- und Spracherkennung" oder erhöhte Verkehrssicherheit durch "elektronische Fahrerunterstützung" umsetzbar.
Für Carl Zeiss bedeutet die erfolgreiche Umsetzung der Technologie einen entscheidenden Schritt in die Zukunft. Im kommenden Jahrzehnt wird mit einem Weltmarktbedarf von über 100 EUV-Systemen pro Jahr gerechnet und somit ein jährliches Umsatzpotenzial von über einer Milliarde Euro erschlossen. Erste Demonstrationssysteme hat Carl Zeiss SMT bereits verkauft, für die Nachfolgesysteme liegen schon Aufträge führender Chiphersteller vor.
Insgesamt sind vier Projekte für den Zukunftspreis nominiert. Die endgültige Entscheidung, wer den diesjährigen Preis gewinnt, fällt am 06. Dezember 2007 im Rahmen einer festlichen Preisverleihung in Berlin. Der Zukunftspreis des Bundespräsidenten ist eine der renommiertesten Auszeichnungen in Deutschland auf dem Gebiet der Technik und Innovation.
Dr. Peter Kürz, Sprecher des nominierten Teams, erläutert den Hintergrund: "Die Lithographie ist ein Kernprozess bei der Chipherstellung. Eine Maske, die als Vorlage für die Anordnung von Leiterbahnen und elektronischen Elementen eines Chips dient, wird bei diesem Verfahren beleuchtet und über eine spezielle Optik auf das Grundmaterial Silizium projiziert. Um immer mehr Funktionen auf einem Chip zu integrieren, müssen immer kleinere Strukturen abgebildet werden."
Seit Bestehen der Halbleiterindustrie ist die Lithographie der Motor dieses Fortschritts. Die bisher dafür verwendeten optischen Systeme stoßen jedoch in absehbarer Zeit an ihre physikalischen Grenzen. Hier öffnet die EUV-Lithographie (EUV steht für extrem ultraviolett) die Tür zu wesentlich feineren Strukturen. Peter Kürz zeigt die damit verbundene Herausforderung auf: "Es gibt keine für die kurzwellige EUV-Strahlung (13 Nanometer Wellenlänge) transparenten Linsenmaterialien. Die Lösung liegt in komplexen Spiegeln, die aufgrund der außergewöhnlichen Anforderungen mit einer Präzision von wenigen Atomlagen poliert werden müssen. Unsere Beitrag besteht darin, diese Spiegel herzustellen und ebenso präzise zu einem Gesamtsystem zu integrieren." Erst damit werden noch leistungsfähigere Chips bei gleichzeitig niedrigen Herstellkosten möglich, und Zukunftsszenarien wie das "Vernetzte Haus", "automatisierte Bild- und Spracherkennung" oder erhöhte Verkehrssicherheit durch "elektronische Fahrerunterstützung" umsetzbar.
Für Carl Zeiss bedeutet die erfolgreiche Umsetzung der Technologie einen entscheidenden Schritt in die Zukunft. Im kommenden Jahrzehnt wird mit einem Weltmarktbedarf von über 100 EUV-Systemen pro Jahr gerechnet und somit ein jährliches Umsatzpotenzial von über einer Milliarde Euro erschlossen. Erste Demonstrationssysteme hat Carl Zeiss SMT bereits verkauft, für die Nachfolgesysteme liegen schon Aufträge führender Chiphersteller vor.
Insgesamt sind vier Projekte für den Zukunftspreis nominiert. Die endgültige Entscheidung, wer den diesjährigen Preis gewinnt, fällt am 06. Dezember 2007 im Rahmen einer festlichen Preisverleihung in Berlin. Der Zukunftspreis des Bundespräsidenten ist eine der renommiertesten Auszeichnungen in Deutschland auf dem Gebiet der Technik und Innovation.
