IMEC (Leuven, Belgien), das führende europäische Forschungsinstitut für die Entwicklung von 300 mm Prozesstechnologie, wird künftig die Vistec-Inspektionssysteme Vistec INS 300 und Vistec INS3300 einsetzen. Die beiden Systeme werden für die Entwicklung künftiger Halbleiterfertigungstechnologien genutzt.
IMEC ist ein weltweit führendes Entwicklungs- und Forschungsinstitut für Nanoelektronik. Seine (sub-) 32 nm CMOS Forschungsplattform mit Ausrichtung auf die Entwicklung von Prozessschritten und Modulen für die Halbleiterherstellung ist den industriellen Anforderungen drei bis zehn Jahre voraus. Die beiden Vistec-Systeme INS300 und INS3300 wurden nun in einer 300mm Pilotfertigungslinie (FEOL und BEOL) installiert.
"Die Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit der Vistec INS-Systeme hat IMEC überzeugt",
IMEC ist ein weltweit führendes Entwicklungs- und Forschungsinstitut für Nanoelektronik. Seine (sub-) 32 nm CMOS Forschungsplattform mit Ausrichtung auf die Entwicklung von Prozessschritten und Modulen für die Halbleiterherstellung ist den industriellen Anforderungen drei bis zehn Jahre voraus. Die beiden Vistec-Systeme INS300 und INS3300 wurden nun in einer 300mm Pilotfertigungslinie (FEOL und BEOL) installiert.
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