SÜSS MicroTec, führender Hersteller von Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, gibt heute die Markteinführung eines neuartigen UV-LED-Lampenhauses für den Einsatz in den ersten Belichtungsgeräten, welche seit mehr als fünfzig Jahren am Markt erfolgreich sind, bekannt. Seit seiner Gründung ist das Unternehmen bestrebt, ökonomisches Denken und Handeln mit nachhaltigen Aspekten in Einklang zu bringen. Mit der Entwicklung- und Umsetzung des umweltfreundlichen UV-LED-Lampenhauskonzepts für Mask Aligner ist SÜSS MicroTec ein weiterer wichtiger Schritt in Hinblick auf Ressourcenschonung und Umweltschutz gelungen.
Die Lebensdauer der innovativen UV-LED-Lichtquelle ist um ein Vielfaches höher als bei der bisher verwendeten Quecksilberdampflampe. Zusätzlich entfallen
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