Die WIKA Alexander Wiegand SE & Co. KG, Klingenberg (WIKA), erweitert ihre Fertigungskompetenz durch den Einsatz einer GENERIS PECVD-INLINE Anlage von SINGULUS TECHNOLOGIES zur Abscheidung elektrischer Isolations- und Passivierungsschichten. Die hochmoderne Plasmatechnologie wird gezielt für Anwendungen im Bereich der Sensorik eingesetzt.
Mit der PECVD-Technologie (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition = Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung) von SINGULUS lassen sich qualitativ hochwertige, dünne Schichten im Inline-Verfahren aufbringen. Besonders bei hochpräzisen Sensorbauelementen trägt die Abscheidung elektrisch isolierender und schützender Schichten maßgeblich zur Leistungssteigerung und Langlebigkeit bei.
Bei der GENERIS PECVD setzt SINGULUS auf bewährte eigens entwickelte induktiv gekoppelte lineare Plasmaquellen (ICP). Dieses Verfahren zeichnet
Mit der PECVD-Technologie (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition = Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung) von SINGULUS lassen sich qualitativ hochwertige, dünne Schichten im Inline-Verfahren aufbringen. Besonders bei hochpräzisen Sensorbauelementen trägt die Abscheidung elektrisch isolierender und schützender Schichten maßgeblich zur Leistungssteigerung und Langlebigkeit bei.
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