Die SINGULUS TECHNOLOGIES AG gibt den erfolgreichen Auftragseingang für ein TIMARIS-System für einen wichtigen Halbleiterkunden bekannt. Die modulare Anlage besteht aus im Markt bewährten komplexen Prozessmodulen sowie einem Wafer-Handling-System, das im Vakuum arbeitet. Damit werden unterschiedliche ferromagnetische und antiferromagnetische Materialien abgeschieden, was ein wesentlicher Schritt der Herstellung magnetischer Sensoren ist. Das Auftragsvolumen liegt im mittleren einstelligen Euro-Millionenbereich.
Ein wesentlicher Vorteil des TIMARIS Systems von SINGULUS TECHNOLOIGIES ist die Möglichkeit hochpräzise Schichtstapel mit vielen sehr dünnen Schichten aufzubringen, ohne das Ultrahochvakuum unterbrechen zu müssen – dadurch werden die hohe Reinheit der einzelnen Schichten und die gute Produktivität in der Serienproduktion sichergestellt.
Ein wesentlicher Vorteil des TIMARIS Systems von SINGULUS TECHNOLOIGIES ist die Möglichkeit hochpräzise Schichtstapel mit vielen sehr dünnen Schichten aufzubringen, ohne das Ultrahochvakuum unterbrechen zu müssen – dadurch werden die hohe Reinheit der einzelnen Schichten und die gute Produktivität in der Serienproduktion sichergestellt.
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