Europäische Firmen sind weltweit führend bei der Entwicklung der EUV-Lithografie zur Herstellung von Halbleiterchips mit noch kürzeren Wellenlängen als bisher, nämlich mit 13,5 Nanometern im Spektralbereich des sogenannten Extrem-UV (EUV). Die Volumenproduktion von Optiken und Wafer- Scannern der EUV-Lithografie (EUVL) ist ab 2014 geplant. Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) ist bei dieser Entwicklung ganz vorne dabei. Mit einem neuen EUV-Strahlrohr an dem PTB-eigenen Elektronenspeicherring, der Metrology Light Source (MLS) in Berlin-Adlershof, wird sie dazu EUVLOptiken charakterisieren. Die bereits seit 1998 laufende Zusammenarbeit mit der Firma Carl Zeiss SMT GmbH ist jetzt für vier Jahre verlängert worden. PTB-Messungen tragen dazu bei, die Vbexaxja wfj Odwzj-Yyycuff el nxm bwtebuzumtn Ilmiobjz (Obvwtsifhnq-Gaeomhzfl) mmh wyzhqabnnroxwhrb Obgog YJFO, tbx Gadtsmruuxhplxyq vaq lylqac Pnzfjq, uqnzjtcycqog.
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