Durch die Verwendung immer kürzerer Wellenlängen im Produktionsprozess, wie z.B. beim Aushärten von Harzen und Lacken oder im Lithografieprozess der Waferindustrie, müssen heute spezielle UV-Objektive für Wellenlängen bis 157nm und kürzer gefertigt werden. Die monochromatische Belichtung bei UV stellt an die verwendeten Optiken höchste Ansprüche. Bei diesen Wellenlängen sind nur noch wenige Materialien wie Quarzglas und Calciumfluorid für die Strahlung durchlässig. Hohe Reinheitsanforderungen sind einzuhalten, da UV-Licht schnell zum Eintrüben der Linsen führen kann. Die eingesetzten Materialien erfordern spezielle Beschichtungsverfahren.
Ein Expertenkreis von rund 30 UV-Optikern tauscht sich seit 6 Jahren regelmäßig über diese und andere Problemstellungen der UV
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