Die Abteilung Optische Komponenten des LZH wird auf der internationalen Fachmesse für Optische Technologien(Optatec), Komponenten und Systeme, aktuelle Forschungsaktivitäten sowie ihr Dienstleistungs- und Produktportfolio vorstellen.
Die Schwerpunkte des LZH in diesem Jahr:
Spatial ALD: Das rotierendes ALD-Konzept mit Plasma-Aktivierung erlaubt die schnellere Beschichtung von Optiken. Die Technologie ermöglicht eine effizientere Herstellung von optisch konformen Beschichtungen auf unterschiedlichsten Oberflächen und Optik-Geometrien.
Miniaturisierte
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