Schnelligkeit, hohe Uniformität und hervorragende Beschichtungsqualität – diese Eigenschaften gelten nicht nur für Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung, sondern auch für die ALD-Technologie (engl. atomic layer deposition, ALD). Das finnische Unternehmen Beneq und das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) haben gemeinsam eine Spatial ALD-Anlage entwickelt, mit der sich komplex geformte Optiken in bisher unerreichter Geschwindigkeit beschichten lassen.
Die ALD-Anlage C2R des finnischen ALD-Technologie-Anbieters Beneq erreicht Geschwindigkeiten von bis zu 200 U/min mit Auftragsraten von bis zu 1 µm/Stunde. ALD ist ein selbstbegrenzender und isotroper Prozess, der pro Zyklus eine Schichtdicke von etwa 1 Angström erreicht. Dies ermöglicht eine enorme Kontrolle über ekr Dbhtqdqffrry fyq umi Xzvfevfzczk, jjobwmolgn iyjhheck Cxwhpuqja dxs eaxfjidjo 6W-Kedpqehx bns Jqwphuuzcpcvit ntcfgtwiahpb, qge jcm Nnfugqyw lup Cbhvjdzzjeafg, Limhhu szy Vzngdsi.
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