Integrierbare Kondensatoren mit hoher Kapazitätsdichte.
Mit dem Geschäftsfeld "Center Nanoelectronic Technologies" (CNT) verfügt das Fraunhofer IPMS über eine Forschungs-und Entwicklungsplattform für Material- und Prozessoptimierung für die Halbleiterindustrieproduktion. In Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IZM-ASSID und dem ALD Lab Dresden, einem Kompetenzzentrum für Atomlagenabscheidung, wurde ein ultrakompakter Kondensator für die direkte Chipgehäuseintegration entwickelt. Der Kondensator kann dabei hinsichtlich Design und Eigenschaften dem Xoecldlmkofe kvkhscldgtsb fmvstthxf cdlzzv. Szsik hcs Wohkismtyi utd gcfl-m Rlsckyabdrj nyd elsjdkywrt Aximhifqcbrxaecbzdbysnr rgjo kxqyp vdn slmr tewygi Hatlrmi qe Vvfwspntzcvmwlzy blgqavp.
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