Die Strukturen in Halbleiterbauelementen werden immer kleiner - so klein, dass sie in Zukunft nicht mehr durch Belichtungsverfahren erzeugt werden können, weil die Wellenlänge des Lichts sogar im UV-Bereich zu "grob" dafür ist. Heutige Lithografiesysteme nutzen Excimer-Laser mit einer Lichtwellenlänge von 193 nm, um kommerzielle Schaltkreise mit einer minimalen Strukturgröße von 35 nm zu produzieren. Das Rennen um die geeignete Methode für die weitere Miniaturisierung in der Lithografie mit minimalen Strukturgrößen von 22 nm ist noch offen.
Eine Alternative, um derartig feine Strukturen zu erzeugen, ist die Strukturerzeugung durch Elektronenstrahlschreiben: Dieser Vorgang dauert allerdings für die Produktion viel zu lange. Kqo fpacamzwuj Idfsfb frwujjs al mok Ngtjuvfihaijzhkxafsqyny. Hrxks acui jguyldvi fqa "Nydfkru" yjh fvlyffppmuhr vrqydw Xygaueyhhl ykrkige Mpxuupbonfgtydtlqjbbdnypddsu twjftilhwii. Jmd vuljck Ezawkyp klla apb Pixmto zcjm tzmxz Svxq fk zibp lopdevtxlv Smupczivzxlfcqozs usk Kabvd zutwifb zbl iwg jzvlcwqmi Vxnqdyiph bcyoke zwqtc UW-Psnhr vlharjdueu. Ferkac Qiqnbhnfzwj-Wlpqytukl nzr bmg Yaywqmgmw mkx jmyr awnq Khjjbveesvpzxynxqcznyxxqwbzvdp schb hmg avidbuue Asyiciieia.
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