Wissenschaftler der Fraunhofer-Institute für Lasertechnik ILT Aachen, für Werkstoff- und Strahltechnik IWS Dresden und für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF Jena erhielten am 8. Mai 2012 im Rahmen der Fraunhofer-Jahrestagung in Stuttgart den Joseph-von-Fraunhofer-Preis 2012. Geehrt wurden sie mit ihren Teams für die Entwicklung wesentlicher Elemente für die EUV-Lithografie.
Flache Computer, leistungsstarke Mobiltelefone und Tablets - immer kleiner und komplexer werden die integrierten Schaltkreise, die Leistungszentralen unserer Rechner. Die Mikrochips heutiger Computer enthalten bereits rund zwei Milliarden Transistoren. Um die Dichte auf den Chips überhaupt hinzubekommen, werden die Strukturen mittels Lithografie auf die Chips belichtet. Um zukünftigen Anforderungen gerecht zu
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