Im Rahmen einer binationalen Masterarbeit wurde am Fraunhofer IISB in Erlan-gen eine neuartige Messmethode zur Charakterisierung ultradünner dielektri-scher Schichten optimiert. Anna Alessandri von der Universität "Politecnico di Milano" arbeitete zusammen mit Wissenschaftlern des IISB an der Weiterent-wicklung eines hochmodernen Vakuum-UV-Reflektometers (VUV-R). Durch die Untersuchung verschiedener Methoden zur Kalibrierung des Messsystems und anhand von Referenzmessungen konnte die Präzision von Schichtdicken-Messungen im Bereich weniger Nanometer erheblich verbessert werden. Von dem VUV-R-Messgerät existieren weltweit nur 5 Installationen, das Gerät in Er-langen ist mit der erreichten Genauigkeit einzigartig.
Das Vakuum-UV-Reflektometer am IISB erlaubt die vollautomatische optische Vermessung von 200 mm- und 300 mm-Wafern in
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