Die Wafer-Produktion für die Halbleiterindustrie ist ein hartes Geschäft. Daher hat EVT nun eine Partikelinspektion mit der EyeVision Software realisiert.
Partikel sind die bekanntesten Defekte von Wafern. Beim Transport, beim Verarbeiten oder auch in den Anlagen selbst können sich Partikel wie z.B. Staub oder Materialabrieb auf dem Wafer anlagern und dort zu einer unerwünschten Abdeckung führen.
Dadurch wird die Verarbeitung im betroffenen Bereich beeinflusst. Die Partikel können dort die Abscheidung oder das Ätzen von Schichten verhindern. Dies kann zu Fehlfunktionen wie z.B. Kurzschlüssen oder fehlenden elektrischen Verbindungen zwischen Leiterbahnen führen.
Der Partikelinspektor von EVT analysiert die Oberfläche der Wafer
Partikel sind die bekanntesten Defekte von Wafern. Beim Transport, beim Verarbeiten oder auch in den Anlagen selbst können sich Partikel wie z.B. Staub oder Materialabrieb auf dem Wafer anlagern und dort zu einer unerwünschten Abdeckung führen.
Dadurch wird die Verarbeitung im betroffenen Bereich beeinflusst. Die Partikel können dort die Abscheidung oder das Ätzen von Schichten verhindern. Dies kann zu Fehlfunktionen wie z.B. Kurzschlüssen oder fehlenden elektrischen Verbindungen zwischen Leiterbahnen führen.
Der Partikelinspektor von EVT analysiert die Oberfläche der Wafer
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