MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) bestehen aus einer beweglichen Masse oder Membran, die physikalische Reize in elektrische Signale wie beispielsweise Kapazitätsänderungen umwandeln können. Sie werden auch mikromechanische Bauelemente genannt.
Ein Beschleunigungsmesser ist ein passives Masse-Feder-Dämpfer-System, das lineare externe Beschleunigungen durch eine Verschiebung der beweglichen Masse misst, was zu einer Änderung der Kapazität führt. Ein Beschleunigungsmesser ist ein eigenständiges Gerät, das Wechsel- und Gleichstrombeschleunigungen entlang drei orthogonaler Achsen messen kann. Ein Gyroskop ist ein aktiver Coriolis-Sensor mit einem integrierten ASIC, der die Bewegung als Winkelgeschwindigkeit (Ω) berechnet. Es handelt sich um ein eigenständiges Gerät, das Wechsel- und Gleichstrom-Winkelgeschwindigkeiten entlang drei orthogonaler
Ein Beschleunigungsmesser ist ein passives Masse-Feder-Dämpfer-System, das lineare externe Beschleunigungen durch eine Verschiebung der beweglichen Masse misst, was zu einer Änderung der Kapazität führt. Ein Beschleunigungsmesser ist ein eigenständiges Gerät, das Wechsel- und Gleichstrombeschleunigungen entlang drei orthogonaler Achsen messen kann. Ein Gyroskop ist ein aktiver Coriolis-Sensor mit einem integrierten ASIC, der die Bewegung als Winkelgeschwindigkeit (Ω) berechnet. Es handelt sich um ein eigenständiges Gerät, das Wechsel- und Gleichstrom-Winkelgeschwindigkeiten entlang drei orthogonaler
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