Für die Qualitätssicherung in der Mikrosystemtechnik ist taktiles Messen im Bereich unter 0,1 Mikrometer Wirklichkeit: Das 3D-Koordinaten messgerät F25 für die Prüfung von Mikrobauteilen misst deutlich genauer als Carl Zeiss angibt. Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) hat die Leistungsfähigkeit der F25 für Messungen an Mikrobauteilen mit Außen- und Innengeometrien sowie für Formmessungen untersucht. Tests mit hochgenauen Normalen ergaben sehr gute Übereinstimmungen mit den Referenzwerten. Für Formmessungen waren die Werte noch besser.
Die an einer Zerodur Endmaßbrücke bestimmten Geradheitsabweichungen lagen deutlich unter 100 Nanometer: Sie betrugen in horizontaler Richtung (x-Richtung) bei 43 Millimetern Messlänge rund 50 Nanometer für ungefilterte und 30 Nanometer
Die an einer Zerodur Endmaßbrücke bestimmten Geradheitsabweichungen lagen deutlich unter 100 Nanometer: Sie betrugen in horizontaler Richtung (x-Richtung) bei 43 Millimetern Messlänge rund 50 Nanometer für ungefilterte und 30 Nanometer
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