Canon Inc., Tokyo, gab am 24. September 2024 die Markteinführung des FPA-3030i6 i-linei Steppers bekannt, eines neuen Halbleiterlithografiesystems für die Verarbeitung von Wafern mit einem Durchmesser von 200 mm (8 Zoll) oder kleiner. Der FPA-3030i6 verwendet ein neu entwickeltes Projektionsoptik, das sich durch eine hohe Transmission und hohe Haltbarkeit auszeichnet. Das System reduziert die Linsenaberration bei Prozessen mit hoher Belichtungsdosis und verbessert die Produktivität durch Verkürzung der Belichtungszeit.
Die Linse besteht aus hochdurchlässigem Glasmaterial, das die während der Belichtung auftretenden Linsenaberrationenii im Vergleich zu früheren Stepper-Modellen um mehr als 50 Prozent reduziertiii. Eine höhere Transmission trägt auch dazu bei, die
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