Mit seinen extrem geringen Positionierungstoleranzen ist der ABL1500 speziell für das Hochleistungsscannen und die Inspektion geeignet. Das integrierte Linear-Encoder-Feedback meldet Auflösungen im Subnanometerbereich zurück und das bei einem Verfahrweg von 500 mm. Seine hohe Steifigkeit und die hervorragende Führungs- und Positioniergenauigkeit macht den ABL1500 besonders für die Halbleiterfertigung interessant.
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