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VITRONIC Dr.-Ing. Stein Bildverarbeitungssysteme GmbH

Mit VITRONIC und tec5 auf Nummer sicher in der Waferproduktion

Neueste Spektrometertechnologie auf der Intersolar 2009

(PresseBox) (Wiesbaden, )
Auf der diesjährigen Intersolar vom 27.-29. Mai in München kann am Stand der tec5 AG die wegweisende gemeinsame Lösung der beiden Unternehmen tec5 und VITRONIC für Schichtdickenmessung bestaunt werden: Neueste inline Spektrometertechnologie für die Solarzellenproduktion. Durch die Zusammenarbeit in diesem Bereich und das Einbringen der jeweiligen Kernkompetenzen der beiden Unternehmen, ist eine neue Generation der Farbinspektion entstanden - nicht nur Reflexions- und Farbmessung an beschichteten Wafern, sondern Service bis zur Integration in die Produktionsanlagen. Das bieten tec5 und VITRONIC.

Seit 2008 arbeiten VITRONIC und tec5 im Bereich der Waferinspektion zusammen. Entstanden ist eine inline-Lösung zur Reflexions- und Farbmessung der blauen Antireflexbeschichtung an Wafern. Die Spektrometertechnologie erfasst die physikalischen Eigenschaften der Reflexbeschichtung. Aus diesen Daten wird auf die Schichtdicke und die potenzielle Effizienz des Wafers geschlossen. Erst durch den Einsatz der schnellen Diodenarray-Technologie wird die Inspektion im Produktionstakt möglich. Die applikationsspezifische Software visualisiert live die Testergebnisse jedes einzelnen Wafers. Die Daten werden anhand von neun Messpunkten ermittelt. Die grafische Oberfläche zeigt dem Benutzer nicht nur die physikalischen Werte des getesteten Wafers an, sondern auch die jeweiligen Farbwerte und die daraus abgeleitete Schichtdicke. So lassen sich mühelos die Wafer auch nach ihren Farbeigenschaften sortieren. Alle Prüfergebnisse werden in Protokollen gespeichert und ermöglichen die lückenlose Rückverfolgung jedes einzelnen Wafers. Die Daten können auch für statistische Auswertungen herangezogen werden. Dazu ist außer der kompletten Anbindung an die Anlagensteuerung auch eine vollständige SEGS/GEM-konforme Übermittlung aller Messdaten sicher gestellt.

Kurzprofil tec5 AG

Die tec5 AG wurde 1993 gegründet. Am Firmensitz in Oberursel entwickelt und fertigt das Unternehmen für eine Vielzahl von Anwendungen hochwertige, innovative Produkte für die Detektorarray-Spektroskopie. Die Produktpalette reicht von OEM Komponenten wie z. B. den Ansteuerelektroniken bis hin zu kompletten UV/VIS/NIR Spektrometersystemen. Mit einem Team aus hochqualifizierten Ingenieuren werden auch kundenspezifische Sonderlösungen realisiert.

Besuchen Sie die tec5 AG auf der Intersolar in München!
Am Stand 517 in Halle A3 können Sie sich von der neuen VITRONIC und tec5 Technologie überzeugen!

VITRONIC Dr.-Ing. Stein Bildverarbeitungssysteme GmbH

Seit 1984 liefert VITRONIC in Wiesbaden Standardprodukte mit kundenspezifisch erweiterbaren Modulen bis hin zu individuellen Sonderlösungen. Diese entwickelt VITRONIC selbst, stellt sie her und vertreibt sie. So erhalten die Kunden schlüsselfertige Systeme aus einer Hand - von der Hard- bis zur Software. VITRONIC liefert Bildverarbeitungssysteme unter anderem für die Branchen Automobil- und Automobilzulieferindustrie, Photovoltaik, Medizintechnik, Pharma und Verpackung. Aufgrund seiner Pionierleistungen und permanenten Investitionen in Forschung und Entwicklung ist VITRONIC heute eines der weltweit führenden Unternehmen der Bildverarbeitung. 2007 beschäftigte VITRONIC über 300 Mitarbeiter.

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