Seit 2008 arbeiten VITRONIC und tec5 im Bereich der Waferinspektion zusammen. Entstanden ist eine inline-Lösung zur Reflexions- und Farbmessung der blauen Antireflexbeschichtung an Wafern. Die Spektrometertechnologie erfasst die physikalischen Eigenschaften der Reflexbeschichtung. Aus diesen Daten wird auf die Schichtdicke und die potenzielle Effizienz des Wafers geschlossen. Erst durch den Einsatz der schnellen Diodenarray-Technologie wird die Inspektion im Produktionstakt möglich. Die applikationsspezifische Software visualisiert live die Testergebnisse jedes einzelnen Wafers. Die Daten werden anhand von neun Messpunkten ermittelt. Die grafische Oberfläche zeigt dem Benutzer nicht nur die physikalischen Werte des getesteten Wafers an, sondern auch die jeweiligen Farbwerte und die daraus abgeleitete Schichtdicke. So lassen sich mühelos die Wafer auch nach ihren Farbeigenschaften sortieren. Alle Prüfergebnisse werden in Protokollen gespeichert und ermöglichen die lückenlose Rückverfolgung jedes einzelnen Wafers. Die Daten können auch für statistische Auswertungen herangezogen werden. Dazu ist außer der kompletten Anbindung an die Anlagensteuerung auch eine vollständige SEGS/GEM-konforme Übermittlung aller Messdaten sicher gestellt.
Kurzprofil tec5 AG
Die tec5 AG wurde 1993 gegründet. Am Firmensitz in Oberursel entwickelt und fertigt das Unternehmen für eine Vielzahl von Anwendungen hochwertige, innovative Produkte für die Detektorarray-Spektroskopie. Die Produktpalette reicht von OEM Komponenten wie z. B. den Ansteuerelektroniken bis hin zu kompletten UV/VIS/NIR Spektrometersystemen. Mit einem Team aus hochqualifizierten Ingenieuren werden auch kundenspezifische Sonderlösungen realisiert.
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