Wie führt man eine höchstauflösende Bewegungsmessung an Mikrosystemen zur Bestimmung von 3D-Schwingungsgrößen durch?
Der neue Polytec MSA-100-3D Micro System Analyzer ermöglicht die Messung von dreidimensionalen Schwingungsparametern mikroskopischer Objekte in Echtzeit. Es ist damit ein ideales Werkzeug für die Entwicklung von MEMS wie z.B. Beschleunigungs- und Drehratensensoren. Das MSA-100-3D verwendet einen einzelnen Laserstrahl. Der integrierte Interferometermesskopf analysiert den vom Messobjekt in drei Raumrichtungen gestreuten einzelnen Laserstrahl und bestimmt daraus die dreidimensionale Objektbewegung. Durch Verwendung lediglich eines einzelnen, optimal fokussierten Laserstrahls erreicht man aufgrund des Spotdurchmessers von unter 4 µm eine hervorragende laterale Auflösung.
Für alle drei Raumrichtungen erhält man eine Amplitudenauflösung im pm-Bereich.
Das neue MSA-100-3D ist für den AMA Innovationspreis 2013 nominiert.
Der neue Polytec MSA-100-3D Micro System Analyzer ermöglicht die Messung von dreidimensionalen Schwingungsparametern mikroskopischer Objekte in Echtzeit. Es ist damit ein ideales Werkzeug für die Entwicklung von MEMS wie z.B. Beschleunigungs- und Drehratensensoren. Das MSA-100-3D verwendet einen einzelnen Laserstrahl. Der integrierte Interferometermesskopf analysiert den vom Messobjekt in drei Raumrichtungen gestreuten einzelnen Laserstrahl und bestimmt daraus die dreidimensionale Objektbewegung. Durch Verwendung lediglich eines einzelnen, optimal fokussierten Laserstrahls erreicht man aufgrund des Spotdurchmessers von unter 4 µm eine hervorragende laterale Auflösung.
Für alle drei Raumrichtungen erhält man eine Amplitudenauflösung im pm-Bereich.
Das neue MSA-100-3D ist für den AMA Innovationspreis 2013 nominiert.
