Piezostelltische der Serie PIHera® sind hochgenaue und preisgünstige Systeme, die sehr große Stellwege mit minimalen Abmessungen kombinieren. Die beeindruckenden Stellbereiche bis 1500 µm je Achse werden durch neue, besonders steife und reibungsfreie Festkörpergelenke ermöglicht. Diese bilden auch die Grundlage für eine hohe Führungsgenauigkeit.
Die Piezopositioniertische PIHera® sind als ein- oder zweiachsige Tische mit Stellwegen von 60 µm bis 1500 µm erhältlich. Neu hinzugekommen sind P 628 mit 1000 µm Stellweg je Achse und P 629 mit sogar 1500 µm Stellweg je Achse.
Die Kombination aus großen Stellwegen und Nanometerpräzision, wie sie die neuen PIHera® Nanotranslationstische bieten, wird in vielen Mess- und QS-Anwendungen benötigt, wie z.B. Interferometrie, Mikroskopie, Feinstjustage oder optisches Tracking.
Die geregelten Versionen sind mit hochgenauen, kapazitiven Wegsensoren ausgerüstet. Im geschlossenen Regelkreis ermöglichen die XY-Piezostelltische sehr hohe Auflösungen, die bei den Versionen mit geringeren Stellwegen im Sub-Nanometerbereich liegen und selbst bei der 1,5 mm-Version P-629 noch 5 nm erreichen! Durch die hohe Führungsgenauigkeit liegt die Linearität der neuen Tische bei sehr guten 0,03%.
Die Abmessungen der preisgünstigen PIHera® Nanopositioniertische sind - für die großen Stellwegen - kompakt: so misst der einachsige P-628.1 gerade mal 80 x 80 x 17 mm und der P-629.1 nur 100 x 100 x 22 mm.
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Die Piezopositioniertische PIHera® sind als ein- oder zweiachsige Tische mit Stellwegen von 60 µm bis 1500 µm erhältlich. Neu hinzugekommen sind P 628 mit 1000 µm Stellweg je Achse und P 629 mit sogar 1500 µm Stellweg je Achse.
Die Kombination aus großen Stellwegen und Nanometerpräzision, wie sie die neuen PIHera® Nanotranslationstische bieten, wird in vielen Mess- und QS-Anwendungen benötigt, wie z.B. Interferometrie, Mikroskopie, Feinstjustage oder optisches Tracking.
Die geregelten Versionen sind mit hochgenauen, kapazitiven Wegsensoren ausgerüstet. Im geschlossenen Regelkreis ermöglichen die XY-Piezostelltische sehr hohe Auflösungen, die bei den Versionen mit geringeren Stellwegen im Sub-Nanometerbereich liegen und selbst bei der 1,5 mm-Version P-629 noch 5 nm erreichen! Durch die hohe Führungsgenauigkeit liegt die Linearität der neuen Tische bei sehr guten 0,03%.
Die Abmessungen der preisgünstigen PIHera® Nanopositioniertische sind - für die großen Stellwegen - kompakt: so misst der einachsige P-628.1 gerade mal 80 x 80 x 17 mm und der P-629.1 nur 100 x 100 x 22 mm.
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