10-9 mbar erweitert werden. Die Motoren eignen sich darüber hinaus für VUV und EUV Anwendungen in Anwesenheit von ultravioletter Strahlung. Hiermit qualifizieren sich diese Motoren für Laserstrahl-Stabilisierungsanwendungen.
Die grundlegenden Spezifikationen sind hierbei die gleichen wie bei den langjährig bewährten Standardpicomotoren. Bei einer Schrittweite von < 30 nm über den gesamten Verfahrweg wird eine exzellente Langzeitstabilität und Steifigkeit erreicht. Die Lebensdauer beträgt mehr als 15.000 Zyklen (1 mm vor und zurück).
Durch die herausragenden Eigenschaften ist der Einsatz ideal für Forschung und OEM Anwendungen. Im Bereich OEM können wir umfangreiche Komplettlösungen inklusive passender Optomechaniken und Steuerelektroniken anbieten.