Der neue thermische Membran-Strömungssensor von 2E mechatronic zur Messung kleinster Differenzdrücke wurde in Zusammenarbeit mit dem HSG-IMIT, der MMA AG und der Firma Gruner AG entwickelt.
Durch den Einsatz der innovativen MID-Technologie konnte eine deutliche Bauraumreduzierung erreicht werden. Gleichzeitig kann der komplette Sensor wie ein SMD mit Standard-SMT-Automaten bestückt werden. Die fluidischen Anschlüsse sind ebenfalls im MID integriert. Die elektrische Kontaktierung zwischen Chip und MID erfolgt durch Drahtbonden. Durch die in den Siliziumchip integrierten Fluidikkanäle wird eine hohe Präzision erreicht. Der modulare Aufbau ermöglicht variable Messbereiche von 0-3 mbar bzw. 0-15 mbar.
Durch den Einsatz der innovativen MID-Technologie konnte eine deutliche Bauraumreduzierung erreicht werden. Gleichzeitig kann der komplette Sensor wie ein SMD mit Standard-SMT-Automaten bestückt werden. Die fluidischen Anschlüsse sind ebenfalls im MID integriert. Die elektrische Kontaktierung zwischen Chip und MID erfolgt durch Drahtbonden. Durch die in den Siliziumchip integrierten Fluidikkanäle wird eine hohe Präzision erreicht. Der modulare Aufbau ermöglicht variable Messbereiche von 0-3 mbar bzw. 0-15 mbar.
