Weg-Winkel-Differenzinterferometer meistert steigende Anforderungen an die x-y-Positionierung
Derzeit eingesetzte Messverfahren in der industriellen Fertigung stoßen an die Grenzen des technisch Machbaren. Mit dem Weg-Winkel-Differenzinterferometer entwickelte SIOS das weltweit einzige System, das Weg und Winkel mithilfe von zwei Mal drei Laserstrahlen hochsynchron und zugleich ultrastabil erfasst. Das neue Weg-Winkel-Differenzinterferometer ist in der Lage, nicht nur winzigste Bewegungen, sondern auch kleinste Verkippungen über größere Bereiche hinweg zu erfassen.
