Die Wacker Chemie AG hat gestern Dr. Georg Pietsch und Michael Kerstan für die Entwicklung eines neuartigen Schleifverfahrens für Halbleiterwafer mit dem diesjährigen "Alexander Wacker Innovationspreis" ausgezeichnet. Mit dem neuen Verfahren lassen sich ultraebene Siliciumwafer für zukünftige Generationen von elektronischen Bauteilen herstellen. Das so genannte "Planetary Pad Grinding" (PPG) kombiniert die Vorteile von zwei Bearbeitungsverfahren, die zuvor als unvereinbar galten, nämlich das Läppen und das Schleifen. Dies eröffnet Möglichkeiten, um in Zukunft Siliciumscheiben für noch leistungsfähigere elektronische Bauteile in der erforderlichen Qualität mit hoher Ausbeute und zu wettbewerbsfähigen Kosten produzieren zu können. PPG hat die Entwicklungsphase bereits erfolgreich hinter sich nbymcmmm.
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