In San Francisco gibt Vistec einen Überblick darüber, was im Bereich der Hochleistungsoptiken für die Halbleiterindustrie möglich ist. Alle Standardmodule sind vielfach in den Vistec Inspektions- und Metrologiesystemen erprobt und werden perfekt in die jeweilige Anlage des Kunden eingepasst.
So wurde jüngst das neue OEM Modul INH3000DUV für einen führenden Hersteller von Mask-Repair-Systemen angepasst. Das INH3000DUV ist ein vollautomatisiertes Mikroskopmodul, das die Beleuchtungsarten Visuell, UV (365nm) und DUV (248nm) in sich vereinigt und damit Inspektion und Messanwendungen für die neuesten Designrules der Halbleiterindustrie erlaubt. Für den Kunden wurde zusätzlich ein Modul zur Lasereinkopplung integriert, wodurch die Reparatur von Defekten rtg Uftrlx moddvaz pgpa.
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