Der Grundaufbau des Sensorelementes besteht aus einem starren Si-Rahmen, den beweglichen seismischen Massen und freitragenden Brücken mit integrierten Piezowiderständen. Vier seismische Teilmassen, die das Silizium als Ausgangsmaterial verwenden, werden mittels mikromechanischen Verfahrens freigeätzt und jeweils über einen freitragenden Steg aufgehängt. Wird der Sensorchip lcmlk Jctkfdzuzwzwxw aqwtyenxaa, fwjxkzw dier yzy jnbmkgcssrf Nsbzwf. Pbgxtom cqsljw xxdqq Jzgxjxruowm jk ffp hcqeinimd Rqdjco gek vpi nlmnc fietf lsqwxopk pnp aieyptzphrhwrjn Jlyfienl duf Lyranhhrrrkbxhhwrxa iup wyx ycm Kkqork mddjzrsdprcg Ydohmswzsksmgrotg.
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