Eine am Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS entwickelte neue Klasse elektrostatisch angetriebener Mikroaktoren ermöglicht große vertikale oder laterale Auslenkungen bei geringem Energieverbrauch und niedriger elektrischer Antriebsspannung. Die Technologie ist geeignet, bestehende Mikrosystemlösungen zu erweitern und neue Anwendungsgebiete mit neuartigen Designs zu erschließen. Auf der Photonics West 2017 stellt das Fraunhofer IPMS die neue Klasse elektrostatischer Biegeaktoren erstmals auf einer Fachmesse aus.
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