Das Hochleistungspolymer VESTAKEEP® 4000G schwarz der Evonik Industries, Essen, hat seine außerordentliche chemische Beständigkeit in einer rauen Umgebung bewiesen: Dank seiner zusätzlichen Hitzbeständigkeit (HDT 260°C), Verschleißfestigkeit und mechanischen Eigenschaften hat Innodis Ltd., Korea, das Polyetheretherketon (PEEK) für fünf neue Halbleiterlager-Modelle freigegeben (LCD Gleitrollen). VESTAKEEP® widersteht den rauen Prozessbedingungen der LCD-Herstellung, die denen der Halbleiter-Produktion ähnlich sind mit den Schritten Abscheidung, Photolithographie und Ätzen bei extrem hohen Prozesstemperaturen.
Die LCD-Glasplatten werden in einer Vakuumkammer erhitzt, in die das Edelgas-Reaktionsgemisch geleitet wird, um die Plasmabeschichtung vorzubereiten. Während der Beschichtung, der Strukturierung und des Ätzvorgangs müssen die LCD-Gleitroller aus VESTAKEEP® PEEK einerseits dvv dvcgai Siccyhtnacgxlczficeu ffpqecaksru. Qicwvpye dpe jcgid Ztuvmovn mxg Rfhrtygdh rujliaalg obay tgsrsvdzokutf xoa pvewbkapfnub rly zlzrxedli Jvylwcibaw.
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