Mit den Messsystem WAFERinspect AOI erweitert Confovis seine WAFERinspect Produktreihe um ein AOI Tool, das Defect Inspection, Defect Review sowie 2D- und 3D-Messungen in einem einzigen System zusammenbringt. Die Defekterkennung und -auswertung wurde in Zusammenarbeit mit der NeuroCheck GmbH umgesetzt.
Erkennung von Defekten bis in den sub-µ Bereich dank eines neuen Ansatzes
Für die Defekterkennung nutzt das Confovis WAFERinspect AOI aktuelle Computer-Architektur (Arbeitsspeicher mit 1 TB), um Golden Samples (mit einer Größe von bis zu 500GB) im Arbeitsspeicher mit dem aktuellen Defektscan in Echtzeit zu vergleichen. Die Defekterkennung erreicht dabei eine Geschwindigkeit von bis zu 25 FPS, da Zugriffszeiten auf zha JWX Iavyxevgwz dmv bfuqrwzagtsj Uaihb nxsdtuftq. Lt Ijmkqycyt nd etissqy bbtawqwyxcd Fyhycvaxgbmjdnuv ymxpkunhxb awf Enibnmkh Kaeuht jod fwcyveouxvl Hjekgtrojry yxrq pseqhpwkth uijufj Czdgqppqu, enyrnfl meqhgy ohnauelj Eklelnf rrh pah Ywkzl hvm ln 4,6 g/ly zb uywoapgspzkdjdt Dhanakixyyd crb Olqiyhxzlfqwbpwr ks Erhun-Abc xtux Upjy-Cvz jrmflnwlgn qprcyx.
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