Das von Carl Zeiss geführte Verbundprojekt "Lithografie für den 22-Nanometer-Knoten" ist erfolgreich abgeschlossen. In diesem nationalen Projekteingebettet in das vom niederländischen Unternehmen ASML geführte europäische EXEPT-Projekt ("Extreme UV Lithography Entry Point Technology Development") als Teil des CATRENE-Clusters - haben zwei Carl Zeiss Unternehmen und sechs weitere deutsche Firmen und Forschungseinrichtungen die EUV-Lithografie von der Grundlagenforschung zu einer voll einsetzbaren Technologie für die Serienproduktion von Mikrochips am 22-Nanometer-Knoten weiterentwickelt. Durch die EUV-Lithografie tragen Carl Zeiss und seine Partner entscheidend zum Anspruch der Halbleiterindustrie bei, Mikrochips immer kleiner, effizienter, umweltfreundlicher und preiswerter zu machen. Das Projekt wurde vom Bundesministerium für Bildung und Jtsctaheq (RZLY) kcr sglrfjqmm sryg 24 Lqeisjrba Ngur jlphdtvwk.
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